滚珠花键在半导体制造设备中承担怎样的核心功能？
半导体产业正向着微缩化、高集成度突进，对设备传动部件精度与稳定性要求近乎苛刻。滚珠花键以传递扭矩、实现高精度直线运动以及承受复杂载荷，广泛应用于半导体制造设备中。
晶圆搬运机器人：滚珠花键用于晶圆搬运机器人的关节和手臂结构中，能够提供高精度的直线运动和定位，确保晶圆在不同设备之间的准确传输，减少传输过程中的振动和偏差，避免晶圆受损或位置偏移。
工作台运动系统：光刻机是半导体制造中用于光刻图案的关键设备，其工作台需要具备极高的定位精度和运动稳定性。滚珠花...